产（chǎn）品描述
产品（pǐn）特（tè）点：
• 检测（cè）同时支持（chí）线宽测量及套刻（kè）测量三合一。
• 表（biǎo）面缺陷（xiàn）检测能（néng）力可达0.3um。
• 自动检测（cè）无需人（rén）工,单机缺陷检测（cè）模式。
• 灵活高（gāo）效多种方式的（de）缺（quē）陷和自（zì）动缺陷分类。
• 单层图形和多层图（tú）形（xíng）检测,及自定义区域检测。
• 高精（jīng）度线（xiàn）宽量（liàng）及套刻尺寸测量系统。
• 自动脚本编程能力（lì）和自（zì）动化运行。
• 自带自动检测料盒功能,自（zì）带 Mapping功能,可（kě）双面（miàn）检测。
• 晶圆机械手完（wán）成设备内的晶圆片运转;JEL/首镭自主机械（xiè）手。
产品应用领域：
全自动晶圆外观检查机（jī）主要是适用于晶（jīng）圆外观缺陷的检（jiǎn）测设备，以（yǐ）提高客户生产（chǎn）效率;适用（yòng）于（yú）4inch，6inch，8inch晶（jīng）圆（yuán）。
产品参（cān）数
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激光类型配（pèi）置 |
设备（bèi）型号SL-WOV1020 |
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适用（yòng）晶圆（yuán） |
4寸.6寸.8寸 |
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线扫相机+激光测量仪 |
16K线（xiàn）扫相机（jī）+激（jī）光测量（liàng）仪（yí）：幅（fú）宽6mm扫描间隔lum-10um; |
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相（xiàng）机镜头 |
镜头WD:49mm FOV:360mm图（tú）像分（fèn）辨（biàn）率：2lum |
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线扫同轴（zhóu）光源 |
发光（guāng）区域（yù）340mm*40mm |
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线扫线光源 |
组合（hé）光源；线（xiàn）光源（yuán）2组；发光区域340mm*20mm |
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检测类（lèi）型 |
外观（guān）不良；尺（chǐ）寸、厚度测量（liàng） |
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产品上下料（liào）方（fāng）式 |
Open cassette; |
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产品（pǐn）传送（sòng）方式 |
日本JEL晶圆（yuán）ROBOT+Mapping功（gōng）能 |
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晶圆（yuán）载台 |
X.Y.Z.R载台：形成6.5mm;粗调（diào）360°、微调±5°、最小行程（chéng）5um |
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晶圆平移模（mó）组 |
行程350mm'重复精度±20um |
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软（ruǎn）件 |
首镭专用晶圆外观（guān）检查软件系统； |
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OCR读取 |
视（shì）觉识别(可选（xuǎn）配) |
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FFU |
双FFU;99.995%@0.3um;400-500cmh |
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系统对接 |
MES与EAP(具备TCP/IP;支持SECS-GEM通讯标准) |
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设备尺（chǐ）寸（cùn） |
L:1700mm*W:1350mm*H:1900mm |
相（xiàng）关产（chǎn）品（pǐn）
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