产品描述
产品特点:
• 料盒上下料方(fāng)式,取料,打标(biāo),放料回原位。
• 全(quán)自动上下料(liào),视觉(jiào)或者自动寻边机构定位,加(jiā)工效率高。
• 设备体积微(wēi)小,使用方便(biàn)。
• 自带自动检测料盒功能,自主计数 Mapping 功能,可双面打标。
• 晶圆机(jī)械手完成设备内的晶圆片运转;JEL/ 首镭自(zì)主机械(xiè)手。
产品应用领域:
全自动晶圆激光标刻机主要是对各种硅晶圆(yuán)、蓝宝石(shí)玻璃晶圆、SiC 晶圆进行精密(mì) ID 标记;适用于 4inch,6inc,8inc 晶圆。
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