晶圆ID激光(guāng)标(biāo)刻设备

全自动晶圆激光(guāng)标刻(kè)机主(zhǔ)要是对(duì)各种硅晶(jīng)圆、蓝宝石玻璃晶圆、SiC 晶圆进行(háng)精密(mì) ID 标记;适(shì)用于 4inch,6inc,8inc 晶圆。

产品描述

产品特点:

• 料盒上下料方(fāng)式,取料,打标(biāo),放料回原位。

• 全(quán)自动上下料(liào),视觉(jiào)或者自动寻边机构定位,加(jiā)工效率高。

• 设备体积微(wēi)小,使用方便(biàn)。

• 自带自动检测料盒功能,自主计数 Mapping 功能,可双面打标。

• 晶圆机(jī)械手完成设备内的晶圆片运转;JEL/ 首镭自(zì)主机械(xiè)手。

 

产品应用领域:

全自动晶圆激光标刻机主要是对各种硅晶圆(yuán)、蓝宝石(shí)玻璃晶圆、SiC 晶圆进行精密(mì) ID 标记;适用于 4inch,6inc,8inc 晶圆。

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