碳化硅晶圆ID激光标刻设备

全自动晶圆激(jī)光标刻(kè)机(jī)主要是对各种外延硅(guī)晶圆片、先进封装复合晶圆(yuán)、SIC晶圆(yuán)进行精密标记;适用于6inch,8inch,12inch晶(jīng)圆打码

产品描述

产品特点:

• 专业料(liào)盒上下料,机械手取料、打标、放(fàng)料回原位(wèi)

• 全自动运行,视觉自动寻边定位机构,加工(gōng)效率高

• 自动检测料盒有无产品,机械手自带Mapping功能(néng),可(kě)选择(zé)双面打标

• 晶圆(yuán)机械手完(wán)成设备内的晶圆片运转,JEL专用晶圆机械手

• 标配99.995%0.3um过滤的FFU,有(yǒu)效保障(zhàng)机内洁净度(dù)

 

产品应用(yòng)领(lǐng)域:

全自动晶圆激光(guāng)标刻机主要是对各种外延(yán)硅晶圆片、先进封装复(fù)合晶圆(yuán)、SIC晶(jīng)圆进行(háng)精密标记;适用于6inch,8inch,12inch晶圆打(dǎ)码

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