产品描述
产品特点：
• 检（jiǎn）测同时支持（chí）线宽（kuān）测量及（jí）套刻测量（liàng）三（sān）合一。
• 表面缺陷检测能力可达 0.3um。
• 自动检测无需人（rén）工，单（dān）机缺陷检测模式。
• 灵（líng）活高效多（duō）种方式的缺陷和自动（dòng）缺陷分类。
• 单层图形和多层图形检测，及（jí）自定（dìng）义区域检测。
• 高精度（dù）线宽量（liàng）及套刻尺寸测量系（xì）统。
• 自（zì）动（dòng）脚本编程能力（lì）和自动化运行。
• 自（zì）带自（zì）动检测料盒功（gōng）能（néng），自带 Mapping 功（gōng）能，可双面检测。
• 晶（jīng）圆机械手完成设备内的晶圆片运转；JEL/ 首镭自主机械手。
产品应（yīng）用领域：
全自动晶圆（yuán）外观检查机主要（yào）是（shì）适用于晶圆外（wài）观缺（quē）陷的检测设备，以（yǐ）提高客户生产效率；适用于 4inch，6inch，8inch 晶圆（yuán）。
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