碳化硅晶（jīng）圆ID激光标（biāo）刻设备

全自动晶圆激光（guāng）标刻机主要是对（duì）各种外延硅（guī）晶圆片、先进封（fēng）装复合晶圆、SIC晶圆进行精（jīng）密标记；适用于6inch,8inch,12inch晶圆打（dǎ）码

产品描（miáo）述（shù）

产品特（tè）点：

• 专业料盒上下料，机械手取（qǔ）料、打标、放料回原位

• 全（quán）自动运行，视觉自动寻边定位机构，加工效率高（gāo）

• 自动检测料盒有无产品，机械手自带Mapping功能，可选择双面打标

• 晶圆机械手完（wán）成设备内的晶圆片运转，JEL专用晶圆（yuán）机械手

• 标（biāo）配99.995%0.3um过滤的FFU，有效保障机内洁（jié）净度

 

产（chǎn）品应用领域（yù）：

全自动晶圆激光标（biāo）刻（kè）机主要是对各种外延硅晶圆（yuán）片、先（xiān）进封装（zhuāng）复合晶圆、SIC晶（jīng）圆进（jìn）行精密标记（jì）；适用于6inch,8inch,12inch晶圆打码

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